一、项目背景
在高端芯片制造与医疗精密部件搬运场景中,对运输环境的洁净度、运动控制的精度要求严苛。传统传动机构(链条、皮带、齿轮等 )运行易产生粉尘,污染芯片或医疗部件,且难以满足微米级运动控制需求。磁悬浮多动子真空运输线凭借无接触传动、低污染特性,成为理想方案,而高精度位置检测是其稳定运行的关键。
二、应用方案
(一)设备构成
磁悬浮多动子真空运输线包含磁悬浮轨道、多动子承载平台(如图所示,多个承载平台并行布置 )、控制系统,以及核心位置检测部件 —— 阿童木读数头 MH0 系列,每个动子对应配置读数头,实现位置信号独立采集。
(二)读数头功能实现
阿童木读数头 MH0 系列安装于多动子侧面位置,利用电磁感应原理,实时捕捉动子在真空运输线的位置信息。其抗干扰电路设计,适配真空环境下的电磁环境,稳定输出高精度位置信号,传输至控制系统,为动子的启停、速度调节、精准定位提供数据支撑。
三、应用优势
(一)洁净环境保障
磁悬浮系统无传统机械传动部件,从源头上避免粉尘产生,阿童木读数头 MH0 系列采用密封设计,不引入额外污染,共同为高端芯片、医疗部件营造真空无尘运输环境,降低因污染导致的产品报废风险。
(二)高精度运动控制
MH0 系列读数头具备高分辨率,位置检测精度达微米级,配合磁悬浮多动子系统,实现动子在真空运输线的精准位移控制。在芯片晶圆搬运、医疗试剂精密传输等环节,确保部件放置、转移误差极小,提升生产良率与医疗设备组装精度。
(三)系统兼容性与稳定性
读数头结构紧凑,适配磁悬浮多动子运输线的狭小安装空间。其耐环境特性(耐受真空、温度波动等 ),保障长期稳定运行,与磁悬浮系统协同,支持多动子并行、独立作业,提升运输线整体效率,满足高端制造与医疗场景的连续生产需求。
四、应用效果
在高端芯片制造环节,该运输线配合阿童木读数头,实现芯片中间体搬运精度 ±2μm,粉尘污染导致的芯片不良率从原传统方式的 3% 降至 0.5% 以内;医疗搬运场景中,试剂、精密组件运输误差控制在 ±1μm,助力医疗设备组装良率提升至 99% ,验证了阿童木读数头 MH0 系列在磁悬浮多动子真空运输线的应用价值,为高端制造与医疗领域的精密搬运提供可靠技术方案。